单晶硅 发明专利(207条) 实用新型(32条)
序号 专利号 名称
1 01805741.1 单晶硅晶片及单晶硅的制造方法
2 01136561.7 直拉硅单晶炉热场的气流控制方法及装置
3 01136694.X 一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置
4 01136769.5 一种提高直拉硅单晶棒中氧含量的方法及增氧器
5 01134359.1 直拉硅单晶炉热屏方法及热屏蔽器
6 01139098.0 一种微量掺锗直拉硅单晶
7 02151126.8 多晶硅融化掺氮生长微氮硅单晶的方法
8 02151127.6 一种生长硅单晶的方法
9 02151128.4 氮气氛生长氮浓度可控微氮硅单晶的方法
10 02122817.5 单晶碳化硅薄膜的制造方法及制造设备
11 02157530.4 制造硅单晶所用的晶种及制造硅单晶的方法
12 01806781.6 绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法
13 03107427.8 绝缘层上覆硅单晶芯片结构及其制造方法
14 03105415.3 制造高掺杂硅单晶的方法
15 02111781.0 分离单晶硅埚底料中石英的工艺
16 03112137.3 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
17 02159135.0 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法
18 03109067.2 气相预掺杂和中子辐照掺杂组合的区熔硅单晶的生产方法
19 02802101.0 直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法
20 96102274.4 硅单晶颈部内消除位错的方法
21 96107584.8 用于控制硅单晶生长的系统和方法
22 96120692.6 抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置
23 85100295 直拉(切氏法)硅单晶的氮保护气氛
24 85100856 制备单晶硅片表面完整层的新途径
25 85100591 非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置
26 86100854 以纯氮作为保护气氛 的重掺锑硅单晶的制造方法
27 86106346 半导体器件的高氧含量硅单晶基片及其制法
28 86100027 绝缘衬底上混合源双面硅单晶生长
29 87105811 直拉硅单晶的气相掺氮方法
30 88100307 一种微氮低氧化碳直拉硅单晶的制备方法
31 87103486 掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法
32 88102558 一种中低阻直拉硅单晶的制备方法
33 89102980.X 制备硅单晶的方法和设备
34 88108387.9 单晶硅的制造方法和设备
35 89105564.9 控制直拉硅单晶中氮含量的方法
36 89106560.1 制造硅单晶的方法和设备
37 89109188.2 制取硅单晶的设备
38 90102476.7 制造硅单晶的设备
39 89103289.4 一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构
40 90100791.9 单晶硅生产装置
41 90102475.9 制造单晶硅的设备
42 90103398.7 碳化硅单晶纤维及其制法
43 90109125.1 硅单晶制造装置
44 90102209.8 制造硅单晶设备
45 91102921.4 单晶硅直径测定法及其设备
46 91102922.2 单晶硅直径控制法及其设备
47 91102924.9 单晶硅生产设备
48 91102923.0 单晶硅生产设备
49 91102532.4 单晶硅生产设备
50 91102343.7 制造单晶硅的装置
51 91102023.3 制造硅单晶的设备
52 91109846.1 钇和__系的混合硅酸盐以及应用这些硅酸盐单晶的激光器
53 90106436.X 一种单晶碳化硅短纤维的制备方法
54 91101561.2 硅单晶薄片制造晶体管的方法
55 91107519.4 硅酸铋(BSO)单晶的坩埚下降法生长
56 93112445.X 含氮直拉硅单晶的热处理方法
57 95119376.7 单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法
58 96102527.1 单晶硅锭及其制造方法
59 97113523.1 提拉单晶硅的装置
60 97120661.9 直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针
61 96195700.X 生产碳化硅单晶的方法
62 97120319.9 硅单晶的生产方法以及实现该方法的加热装置
63 98100136.X 硅单晶的制造方法及其使用的晶种
64 97121626.6 双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
65 98112814.9 用硅衬底β碳化硅晶体薄膜生长碳化硅单晶体
66 99100967.3 制造碳化硅单晶的方法和用于制造碳化硅单晶的装置
67 98100416.4 通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品
68 98118815.X 具有镧镓硅氧化物单晶基片的声表面波器件
69 98116827.2 单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法
70 97113737.4 低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用
71 98121350.2 单晶硅片抗机械力的提高
72 98807859.7 生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法
73 00105518.6 生产硅单晶的直拉区熔法
74 98808456.2 控制硅单晶生长的方法与系统
75 98807993.3 用于单晶硅生长的非Dash缩颈法
76 99801049.9 形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法
77 99117832.7 去除硅单晶中重金属杂质的方法
78 99812088.X 热退火后的低缺陷密度单晶硅
79 99811709.9 从低缺陷密度的单晶硅上制备硅－绝缘体结构
80 99815584.5 高质量单晶制造中堆积和熔化多晶硅的方法
81 00122075.6 直拉硅单晶生长的重掺杂方法
82 99811961.X 氮化铝、碳化硅及氮化铝∶碳化硅合金块状单晶的制备方法
83 01131737.X 标定单晶硅晶圆晶向的方法
84 01800727.9 硅片及硅单晶的制造方法
85 01105256.2 块状碳化硅单晶生长的制备方法
86 00812335.7 制备具有均匀热过程的单晶硅的方法
87 02111221.5 单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法
88 00815428.7 低温下用顺序横向固化制造单晶或多晶硅薄膜的系统和方法
89 03159798.X 单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置
90 03132132.1 平板单晶硅表面的改性方法
91 01821381.2 用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法
92 01819895.3 用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法
93 02131185.4 一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
94 02131184.6 直拉法硅单晶生长用硅籽晶及其加工方法
95 02804207.7 用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法
96 200310104772.1 制造掺杂高挥发性异物的硅单晶的方法
97 200310123311.9 硅单晶及其制造方法
98 02155236.3 单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法
99 200310123043.0 硅片和生产单晶硅的方法
100 02810080.8 电阻加热式单晶片腔室中的掺杂的硅沉积工艺
101 03150806.5 一种具有晶格补偿的重掺硼硅单晶衬底
102 03115479.4 检测N型重掺硅单晶片或锭晶格缺陷的方法
103 200310108003.9 一种磁场下生长低缺陷密度直拉硅单晶的方法
104 200410031425.5 硅单晶的生产方法及装置、硅单晶和硅半导体晶片
105 200410001382.6 单晶硅膜的制造方法
106 200310108926.4 单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法
107 200310108771.4 硅酸钆单晶体的生长方法
108 200310113523.9 物理气相传输生长碳化硅单晶的方法及其装置
109 200310124860.8 通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品
110 200310117761.7 用于重掺直拉硅单晶制造的掺杂方法及其掺杂漏斗
111 200310117760.2 用于八英寸重掺砷直拉硅单晶制造的上部热场
112 200310117762.1 用于六英寸及八英寸重掺磷直拉硅单晶制造的上部热场
113 03153378.7 基于区熔硅单晶的双极光晶体管及其探测方法
114 200410053438.2 掺铈焦硅酸镥高温闪烁单晶体的制备方法
115 02821597.4 高电阻率碳化硅单晶体及制造方法
116 200410053863.1 生产高强度直拉硅单晶用的籽晶的制备方法
117 03126463.8 一种生长直拉硅单晶的重掺杂方法及掺杂装置
118 200410064692.2 太阳能级硅单晶生产工艺方法
119 200410092027.4 一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
120 200310116749.4 一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻
121 200310112908.3 一种消除硅单晶片器件制作区原生坑缺陷的方法
122 200410096670.4 具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备
123 03808958.0 单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片
124 02826170.4 用单晶片低压CVD淀积氧化硅和氮氧化物的方法
125 03810538.1 单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法
126 200510023460.7 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
127 200510023461.1 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
128 03818379.X 提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法
129 200510062693.8 涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质
130 200510059736.7 直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法
131 200610049528.3 半导体器件与集成电路硅单晶废弃片的回收利用方法
132 200510112207.9 单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法
133 200510023563.3 直拉硅单晶中低氧控制方法
134 200610004057.4 一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法
135 200510068987.1 单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法
136 200510011753.3 单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法
137 200410018223.7 一种拉制硅单晶工艺方法
138 200410042603.4 单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法
139 200510050335.5 用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法
140 200510013851.0 大直径区熔硅单晶制备方法
141 200510027350.8 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法
142 200510027349.5 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
143 200510098526.9 纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法
144 200380108637.2 利用坩埚旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法
145 200510027077.9 一种单晶氧化硅纳米线的合成方法
146 200410066298.2 半导体集成电路硅单晶片衬底背面氮化硅层的新腐蚀方法
147 200510014891.7 液体涂抹法区熔硅单晶的掺锗方法
148 200510015279.1 磁场直拉硅单晶的制备方法
149 200510015280.4 区熔气相掺杂太阳能电池硅单晶的制备方法
150 200410088423.X 一种在硅基底上生长单晶铁纳米线的方法
151 200410088609.5 一种单晶硅抛光片热处理工艺
152 200480011173.8 硅晶片及其制造方法、以及硅单晶生长方法
153 200510123870.9 硅单晶的生长方法、生长装置及由其制造的硅片
154 200610006496.9 制造具有受控制的碳含量的硅单晶的方法
155 200610024981.9 单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法
156 200610024980.4 单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法
157 200610026855.7 单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法
158 200610010099.9 对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪
159 200610014297.2 硅单晶衬底材料抛光液及其制备方法
160 200480024893.8 制备碳化硅单晶的方法
161 200610014304.9 硅单晶衬底材料表面粗糙度的控制方法
162 200610013498.0 大直径区熔硅单晶生产方法
163 200610013533.9 气相预掺杂和中子辐照掺杂组合的区熔硅单晶的生产方法
164 200610013534.3 区熔气相掺杂太阳能电池硅单晶的生产方法
165 200610013497.6 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法
166 200610013477.9 区熔硅单晶炉电气控制系统
167 200610054245.8 p型单晶硅片的表面处理方法
168 200610054246.2 n型单晶硅片的表面处理方法
169 200510010744.2 光学玻璃和硅单晶非球面光学元件的加工方法
170 200610014303.4 硅单晶片器件制备区域表面完美性的控制方法
171 200610081294.0 一种碳化硅单晶生长后的热处理方法
172 200610043184.5 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法
173 200610043185.X 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法
174 200510027829.1 一种太阳能级硅单晶用料配方及制备
175 200610058255.9 高质量硅单晶的生长方法和装置、硅单晶结晶块及硅晶片
176 200610106431.1 掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法
177 200610043186.4 单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法
178 200610043187.9 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法
179 200610099146.1 单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法
180 200510092880.0 单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
181 200510092319.2 反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
182 200580005839.3 碳化硅(SiC)单晶的制造方法以及通过该方法得到的碳化硅(SiC)单晶
183 200610092779.X 制造硅单晶的方法
184 200610003165.X 高质量硅单晶结晶块的生长装置及使用此装置的生长方法
185 200610048750.1 一种在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜的方法
186 200510094904.6 单晶硅切方机构
187 200580021074.2 100毫米的高纯半绝缘单晶碳化硅晶片
188 200510111453.2 制作单晶硅太阳电池绒面的方法
189 200510111455.1 单晶硅太阳电池绒面的制备方法
190 200580023035.6 碳化硅单晶及其蚀刻方法
191 200580024926.3 利用单晶圆腔室沉积纳米晶体硅
192 200510136041.4 单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺
193 200510132574.5 一种清除直拉硅单晶炉内SiO的方法及装置
194 200510132575.X 一种提高直拉硅单晶炉热场部件寿命的方法及单晶炉
195 200610129891.6 <110>无位错硅单晶的制造方法
196 200610149906.5 生产单晶硅的方法
197 200610155897.0 低硅高钙单晶体电熔镁砂熔炼方法
198 200610013089.0 供高温力学量传感器用的纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片
199 200580028656.3 硅片及其制造方法，以及硅单晶的培育方法
200 200610105330.2 单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法
201 200610105331.7 基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法
202 200610105332.1 直拉法单晶硅生长过程中的熔体液面位置检测方法
203 200710037043.7 在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜的方法
204 200610155648.1 直拉法生长硅单晶产生的锅底料的除杂方法
205 200610119211.2 一种控制硅单晶切磨片残留损伤层厚度的方法
206 200710036554.7 利用纳米硅丝做模板合成单晶β-Si₃N₄纳米线的方法
207 200580032490.2 用于大碳化硅单晶的高品质生长的籽晶和籽晶夹持器组合
1 02281654.2 一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
2 94239099.7 硅单晶片贴带装置
3 89213391.0 区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构
4 93200611.6 单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽
5 96236137.2 单晶硅片各向异性腐蚀夹具
6 95224595.7 用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器
7 97239008.1 单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置
8 00224737.2 单晶硅衬底双面抛光片
9 00225900.1 单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置
10 01265431.0 低氧碳单晶硅复投料自卸机构
11 03244621.7 绝缘层上覆硅单晶芯片结构
12 03246541.6 硅绝缘体单晶芯片结构
13 03246542.4 硅绝缘体单晶芯片结构
14 03231427.2 双面光照单晶硅太阳电池
15 200320103212.X 用于减少硅单晶棒截断崩边的工具
16 200420079639.5 硅单晶炉热系统装置
17 200320101920.X 用于检查硅单晶棒上的切口位置的工具
18 200520076510.3 单晶硅切方装置
19 200520092740.9 硅单晶锭X射线定向仪
20 200520113172.6 反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
21 200620025965.7 区熔硅单晶炉电气控制装置
22 200620002303.8 单晶硅棒切方滚磨机床
23 200620003851.2 直拉法单晶硅生产用石英坩埚
24 200520110444.7 单晶硅棒切方滚磨机床
25 200520043749.0 N型基体单晶硅太阳电池
26 200520146921.5 一种带有后氧化装置的直拉硅单晶炉
27 200520129467.2 太阳能硅单晶炉的冷却水系统
28 200520129466.8 太阳能硅单晶炉的组合铜排
29 200620117810.6 区熔单晶硅炉
30 200620117812.5 区熔单晶硅生长炉
31 200620117926.X 单晶硅炉控制装置
32 200620117811.0 软轴单晶硅炉

单晶硅期刊技术文献目录
1  单晶硅纳米梁的分子动力学模拟   曹共柏 焦继伟... 传感技术学报 2006 05A
2  太阳电池用掺氮直拉单晶硅中氧沉淀行为的研究   李勇 钟尧... 材料科学与工程学报 2006 5
3  单晶硅自由磨料线锯切片过程中的流体动压效应　　 桑波 葛培琪... 润滑与密封 2006 10
4  300#反应堆单晶硅掺杂质量控制   陈炜 原子能科学技术 2006 B09
5  单晶硅超精密加工的分子动力学仿真研究进展　　 高玉飞 葛培琪... 工具技术 2006 9
6  利用“湿化学”法在单晶硅表面接枝有机分子　　 姚和平 戴郁菁... 化学进展 2006 9
7  环形固结金刚石线锯切割单晶硅与陶瓷的实验研究　　 刘建国 刘昌英 现代制造技术与装备 2006 4
8  掺氮直拉单晶硅中氧沉淀的研究进展   张泰生 马向阳... 材料导报 2006 9
9  数值模拟自然对流对直拉单晶硅的影响   宇慧平 隋允康... 人工晶体学报 2006 4
10  青海1kt／a单晶硅项目开工　　 无 氯碱工业 2006 8
11  单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法　　 王世清 姜彤... 传感器与微系统 2006 7
12  超长单晶硅纳米丝的化学气相沉积法制备   尉永玲 刘志洪... 真空科学与技术学报 2006 3
13  N型多孔单晶硅片的热电性能研究   赵志远 徐桂英... 中国材料科技与设备 2006 4
14  2006 日本单晶硅产销都将大增　　 余双人 精细与专用化学品 2006 12
15  单晶硅超精密磨削过程的分子动力学仿真   郭晓光 郭东明... 机械工程学报 2006 6
16  粘度对含纳米粒子溶液冲蚀单晶硅表面的磨损影响   徐进 雒建斌 中国机械工程 2006 12
17  世界最大单晶硅生产基地及国内最大硅片加工中心落户上海　　 顾定槐 上海化工 2006 6
19  飞秒激光作用下单晶硅的吸收系数和烧蚀阈值　　 彭爱莲 彭玉峰... 河南师范大学学报：自然科学版 2006 2
20  日本2005 半导体用单晶硅供需情况及2006 预测　　 杨晓婵（摘译） 现代材料动态 2006 6
21  基于单晶硅材料的微摩擦测试机构及其试验研究   郭占社 孟永钢... 摩擦学学报 2006 3
22  上海建世界级单晶硅生产基地　　 蓝天 浙江化工 2006 5
23  图像处理技术在单晶硅生产监测中的应用研究   韩晓军 王晓明... 传感技术学报 2006 2
24  河北晶龙：世界单晶硅的圣地　　 苑国良 中国电子商情：基础电子 2006 4
25  单晶硅中过渡族金属镍对洁净区形成的影响　　 吴冬冬 杨德仁... 半导体学报 2006 4
26  表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感　　 吴文刚 李轶... 半导体学报 2006 4
27  润滑介质对单晶硅相变与脆塑行为的影响   李小成 吕晋军... 摩擦学学报 2006 2
28  快速热处理工艺下直拉单晶硅中铜、镍对氧沉淀的影响　　 吴冬冬 杨德仁... 半导体学报 2006 3
29  用两次键合技术制备均匀单晶硅膜   何芳 黄庆安... 电子器件 2006 1
30  锦州成为全国第二大单晶硅基地　　 无 有机硅氟资讯 2006 3
31  单晶硅微桥式梁力学性能的弯曲测试   韩光平 刘凯... 仪器仪表学报 2006 2
33  高载下单晶铜和单晶硅的径向纳动与损伤行为研究   张静宜 钱林茂... 摩擦学学报 2006 1
34  含纳米粒子溶液对单晶硅表面的冲蚀磨损损伤实验研究   徐进 雒建斌 摩擦学学报 2006 1
35  硅酸钠在太阳能电池单晶硅表面织构化的作用　　 杨志平 杨勇... 硅酸盐学报 2005 12
36  300#反应堆单晶硅中子嬗变掺杂计算　　 陈炜 核电子学与探测技术 2005 6
37  强激光作用下单晶硅的热畸变特性研究　　 崔金玲 彭玉峰... 河南师范大学学报：自然科学版 2005 3
39  原生直拉单晶硅中的铜沉淀规律　　 席珍强 杨德仁... 半导体学报 2005 9
40  单晶硅微构件力学特性片上测试系统　　 苏才钧 吴昊... 机械强度 2005 4
41  非、单晶硅太阳能电池组件比功率发电量比较　　 柴金龙 李毅... 深圳大学学报：理工版 2005 3
42  单晶硅浓硼掺杂悬臂梁中残余应力的研究　　 徐静 苏伟 传感器技术 2005 7
44  Nd：YAG固体激光铣削单晶硅表面形貌研究　　 袁根福 曾晓雁 应用激光 2005 3
45  形形色色的太阳电池（2）——单晶硅太阳电池　　 无 人工晶体学报 2005 3
47  摩擦偶件对单晶硅宏观摩擦磨损行为的影响　　 李小成 吕晋军... 摩擦学学报 2005 3
48  Au纳米晶在单晶硅（110）表面上的分形生长　　 金美花 赵勇... 吉林大学学报：理学版 2005 3
49  纳米粒子与单晶硅表面碰撞的反弹机理研究　　 段芳莉 雒建斌... 物理学报 2005 6
50  单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟　　 姚娉 闫卫平... 微纳电子技术 2005 6
51  单晶硅材料的1064nmNd：YAG脉冲激光损伤特性研究　　 高卫东 田光磊... 材料科学与工程学报 2005 3
52  应用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺　　 韩翔 李轶... 半导体学报 2005 5
53  氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究　　 孙蓉 徐洮... 无机材料学报 2005 3
54  铁炭微电解法在单晶硅生产废水处理中的应用　　 赵县防 洛阳工业高等专科学校学报 2005 2
55  φ5300mm的大直径直拉单晶硅勾形磁场下生长的数值模拟　　 宇慧平 隋允康... 无机材料学报 2005 2
56  单晶硅片的制造技术　　 吴明明 周兆忠... 制造技术与机床 2005 3
57  河北宁晋成为单晶硅生产基地　　 山水 中国非金属矿工业导刊 2005 1
58  载能钼团簇束与单晶硅碰撞室温下合成二硅化钼　　 李公平 张小东... 核技术 2005 3
59  单晶硅压痕裂纹的氢致滞后扩展　　 赵显武 宿彦京... 金属学报 2005 2
60  宁晋单晶硅走向世界　　 柳辉强 李素现 华北电业 2004 6
62  单晶硅表面等离子体基离子注入碳纳米薄膜的摩擦学特性　　 廖家轩 刘维民... 摩擦学学报 2004 2
63  单晶硅和单晶铝纳米切削过程比较　　 唐玉兰 梁迎春... 哈尔滨工业大学学报 2004 1
64  紊流模型模拟分析旋转对提拉大直径单晶硅的影响　　 宇慧平 隋允康... 人工晶体学报 2004 5
66  单晶硅、多晶硅太阳电池电性能一致性分析　　 刘跃飞 青海科技 2004 4
67  多晶硅、单晶硅同步外延研究　　 胡冬青 李思渊... 半导体学报 2004 11
68  单晶硅衬底材料中的消光衍射　　 黄代绘 李卫... 半导体学报 2004 10
69  单晶硅片超精密加工表面＼亚表面损伤检测技术　　 张银霞 电子质量 2004 7
70  单晶硅摩擦致相变的SEM研究　　 李小成 吕晋军... 电子显微学报 2004 4
71  单晶硅氩离子注入层的微观结构和微观摩擦磨损行为　　 孙蓉 徐洮... 化学研究 2004 3
72  单晶硅滑动磨损性能及其相变研究　　 李小成 吕晋军... 摩擦学学报 2004 4
73  单晶硅表面改性及其微观摩擦学性能研究进展　　 孙蓉 徐洮... 摩擦学学报 2004 4
74  硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究　　 王金清 刘晓红... 机械工程材料 2004 9
75  河北宁晋太阳能单晶硅产量占世界二成　　 无 现代材料动态 2004 6
77  单晶硅各向异性湿法腐蚀机理的研究进展　　 王涓 孙岳明... 化工时刊 2004 6
78  杂质对单晶硅材料硬度的作用　　 李东升 杨德仁... 半导体学报 2004 7
79  高纯区熔单晶硅高增益光晶体管的研究　　 田晓娜 张秀荣... 光子学报 2004 7
80  单晶硅和单晶铝纳米切削过程比较　　 唐玉兰 梁迎春... 哈尔滨工业大学学报 2004 6
81  单晶硅片的制造技术　　 吴明明 周兆忠... 新技术新工艺 2004 5
82  勾形磁场下提拉法生产单晶硅的数值模拟　　 宇慧平 隋允康... 人工晶体学报 2004 2
83  单晶硅上电沉积Cu／Co纳米多层膜及其巨磁电阻效应　　 姚素薇 赵瑾... 磁流体发电情报 2004 3
84  #300反应堆单晶硅辐照计算软件的开发　　 陈炜 工程物理研究院科技 报 2003 1
85  燕赵“硅谷”——宁晋单晶硅产业园区全景扫描　　 柳辉强 中国高新技术企业 2003 3
86  基于AFM微加工的单晶硅表层性质的研究　　 赵清亮 梁迎春... 微纳电子技术 2003 7
87  纳米硅／单晶硅异质结二极管的I V特性　　 刘明 刘宏... 物理学报 2003 11
88  TMAH单晶硅腐蚀特性研究　　 邓俊泳 冯勇建 微纳电子技术 2003 12
89  单晶硅片的区域载荷法平坦化抛光　　 吕玉山 蔡光起... 沈阳工业学院学报 2003 3
90  单晶硅镜面超光滑表面工艺技术研究　　 徐清兰 伍凡... 光电工程 2003 5
91  单晶硅薄膜面向热导率分子动力学研究　　 肖鹏 李志信 工程热物理学报 2003 6
92  单晶硅材料电火花加工试验研究　　 高长水 刘正埙 电加工与模具 2003 5
93  单晶硅的激光铣削试验研究　　 袁根福 曾晓雁 激光技术 2003 5
94  单晶硅SOI高温压力传感器的研究　　 无 传感器世界 2003 2
95  燕赵“硅谷”——宁夏单晶硅产业园区全景扫描　　 柳辉强 中国高新技术企业 2003 2
96  SOD单晶硅压力传感器模拟计算与优化设计　　 倪智琪 姚素英... 传感技术学报 2003 1
97  基于分子动力学单晶硅纳米切削机理研究　　 唐玉兰 梁迎春... 微细加工技术 2003 2
98  常规单晶硅太阳电池在低倍聚光条件下应用研究　　 苑进社 太阳能学报 2003 2
99  单晶硅基表面碳纳米管薄膜的制备研究　　 彭宜斌 程国安... 国外金属热处理 2003 2
100  单晶硅表面有机硅烷／Ag2O纳米微粒复合自组装膜的制备和表征　　 王金清 杨生荣... 化学物理学报 2003 1
101  上海光华GH3053单晶硅智能变送器　　 无 世界仪表与自动化 2003 9
102  单晶硅太阳电池纳米减反射膜的研究　　 王鹤 杨宏... 固体电子学研究与进展 2003 3
103  单晶硅中离子注入及快速热退火后浓度分布模型　　 周会 郭慧民... 北京师范大学学报：自然科学版 2003 3
104  单晶硅表面无掩膜极微细加工成形的研究　　 何友义 徐盛林 新技术新工艺 2003 5
105  冲蚀磨损下单晶硅（111）面的断裂行为　　 朱流 郦剑... 浙江大学学报：工学版 2003 4
106  集成电路的基础材料—单晶硅的发展　　 施尚林 中国半导体 2003 1
107  热处理单晶硅片中Fe玷污的深能级瞬态谱分析　　 王文卫 李新建 科学技术与工程 2003 3
109  单晶硅太阳电池的表面织构化　　 席珍强 吴丹... 太阳能学报 2002 3
110  单晶硅中氢与辐照缺陷的相互作用　　 王启元 林兰英... 半导体学报 2002 1
111  室温下单晶硅压痕微裂纹的形成与扩展　　 张琼 李斗星... 电子显微学报 2002 1
112  表面镀钛的戈斯取向单晶硅钢板　　 启明 金属功能材料 2002 4
113  单晶硅—纳米晶立方氮化硼薄膜类P—N结及其制作方法　　 无 表面技术 2002 5
115  单晶硅片温度的拉曼光谱测定　　 俞帆 刘刚... 云南大学学报：自然科学版 2002 3
116  单晶硅作为新型的基因芯片基底的探索　　 孙豳 武巍... 物理化学学报 2002 7
117  背接触单晶硅太阳能电池制造方法　　 无 能源工程 2002 5
118  高效率单晶硅太阳电池组件　　 航天 军民两用技术与产品 2002 8
119  微重力下单晶硅生长中热毛细对流的控制研究　　 李杰 毛科... 重庆大学学报：自然科学版 2002 3
120  光电池用极薄单晶硅片　　 无 光学精密机械 2002 3
121  单晶硅薄膜法向热导率分子动力学研究　　 肖鹏 冯晓利... 工程热物理学报 2002 6
122  单晶硅晶圆晶向的精确标定方法　　 贾陈平 屈梁生 西安交通大学学报 2002 5
123  绒面单晶硅光伏用薄膜的LPE生长　　 FaveA 可再生能源 2002 6
124  金刚石车刀前角与切削刃钝圆半径对单晶硅加工表层质量的影响　　 赵清亮 陈明君... 机械工程学报 2002 12
125  单晶硅波导基槽刻蚀工艺的研究　　 黄伟志 潘姬... 天津工业大学学报 2002 4
126  单晶硅裂纹尖端的位错发射行为　　 张琼 周海芳 中国有色金属学报 2001 5
127  国内外单晶硅工业现状　　 无 硅铝化合物 2001 1
128  应用原子力显微镜对单晶硅进行纳米级加工　　 赵清亮 梁迎春... 微细加工技术 2001 2
129  单晶硅表面全氟聚醚润滑膜的制备及摩擦特性研究　　 王金清 杨生荣... 摩擦学学报 2001 6
130  Fuzzy—PID复合控制在单晶硅等径生长中的应用　　 陈琦 王新房... 测控技术 2001 3
131  创维开发出单晶硅反射式液晶显示技术　　 无 中国科技产业 2001 10
132  单晶硅化学气相沉积反应器的流场初探　　 王亲猛 罗木晶... 北京工业大学学报 2001 4
133  单晶硅非平衡磁控溅射等离子体基离子注入钼的XPS研究　　 夏立芳 于伟东... 真空科学与技术 2001 3
134  纳米硅／单晶硅异质结二极管的电学特性　　 徐刚毅 王天民... 功能材料与器件学报 2001 1
135  钕离子注入单晶硅光致发光的起源　　 肖志松 徐飞... 半导体学报 2001 11
136  氮杂质对直拉单晶硅中位错的作用　　 李东升 杨德仁... 半导体学报 2001 11
137  利用装置环形永磁场的直拉炉（PMCZ）生长单晶硅和掺锗硅晶体　　 张维连 孙军生... 半导体学报 2001 3
139  锗杂质对直拉单晶硅热施主和机械强度的影响　　 张维连 孙军生... 河北工业大学学报 2001 2
140  单晶硅的表面光电性质研究　　 蒋晓红 马宗峰... 河南大学学报：自然科学版 2001 3
141  基于分子动力学的单晶硅压痕过程计算机仿真研究　　 田jun 梁迎春 江苏机械制造与自动化 2001 4
142  单晶硅内氢杂质特性研究进展　　 李传波 刁兆玉... 稀有金属 2001 6
143  p型单晶硅上电镀纳米Ni—W—P合金电极及其光照析氢研究　　 张卫国 龚正烈... 应用化学 2001 10
144  聚乙酰亚胺涂敷单晶硅表面上全氟癸酸单层膜　　 任嗣利 杨生荣... 物理化学学报 2001 2
145  超高真空电子束蒸发在多孔硅上外延单晶硅　　 刘卫丽 朱剑豪... 功能材料 2001 6
146  室温下单晶硅显微压痕表面位错组态的TEM观察　　 张琼 蔡传荣... 福州大学学报：自然科学版 2001 2
147  单晶硅太阳能电池硅与电极间的欧姆接触　　 谭富彬 赵玲... 贵金属 2001 1
148  基于晶格结构的单晶硅异向腐蚀的计算机模拟　　 康建初 韩秋菊... 计算机工程与应用 2001 18
149  （Si,Er）双注入单晶硅近红外光发射　　 徐飞 肖志松... 北京师范大学学报：自然科学版 2001 4
150  用PMCZ法生长的单晶硅中氧和电阻率的均匀性　　 张维连 吴小双... 材料研究学报 2001 4
151  单晶硅太阳电池应用的改进方案　　 董兆 河北工业科技 2000 6
152  单晶硅材料机械性能研究及进展　　 李东升 杨德仁 材料科学与工程 2000 3
153  单晶硅太阳电池的工业化生产　　 许开芳 涂洁磊 太阳能 2000 1
154  ECR等离子体对单晶硅的低温大面积表面处理　　 孙剑 钟晓霞 半导体学报 2000 10
155  单晶硅纳米加工机理的分子动力学研究　　 罗熙淳 李文慧 航空精密制造技术 2000 3
156  单晶硅脆性材料塑性域超精密磨削加工的研究　　 陈明君 董申 航空精密制造技术 2000 2
157  阳极腐蚀条件及单晶硅类型对多孔硅光致发光性能的影响　　 石建新 张晓霞 中山大学学报：自然科学版 2000 3
158  X射线干涉仪中单晶硅微动工作台的研制　　 王林 李达成 仪器仪表学报 2000 6
159  单晶硅脆性微裂纹的透射电镜观察　　 张琼 蔡传荣 电子显微学报 2000 4
160  应用AFM研究单晶硅,锗的超精密车削表面微观形貌　　 韩红玉 董申 工具技术 2000 2
161  准分子激光直接刻蚀单晶硅研究　　 马炳和 李铁军 西北工业大学学报 2000 3
162  单晶硅柱面反射镜的检测　　 郭培基 余景池 激光杂志 2000 3
163  IgG分子在单晶硅片表面导向性固定的XPS和EIA研究　　 钱卫平 许斌 传感技术学报 1999 2
164  切割单晶硅表面损伤的研究　　 樊瑞新 卢焕明 材料科学与工程 1999 2
165  单晶硅红外液晶光阀　　 叶克飞 苏兆旭 光学仪器 1999 4
166  高效单晶硅全自动跟踪太阳发电设备研究　　 任家东 刘永山 燕山大学学报 1999 3
167  单晶硅中铒点缺陷及Er—O复合缺陷电子结构的EHMO计算　　 薛俊明 刘志钢 光电子．激光 1999 5
168  利用单晶硅液晶光阀产生动态红外场景　　 高教波 叶克飞 激光与红外 1999 6
169  二次曝光法测量单晶硅的弹性矩阵　　 李大海 郭文胜 激光杂志 1999 4
170  Si^＋／B^＋双注入单晶硅的快速热退火　　 周继承 固体电子学研究与进展 1999 4
171  钕离子注入单晶硅合成硅化物的研究　　 肖志松 程国安 北京师范大学学报：自然科学版 1999 2
172  羊抗人IgG的Fab‘片段在单晶硅片表面的位点导向性固定　　 钱卫平 宋震东 东南大学学报：自然科学版 1999 1
174  氢氧化钾各向异性腐蚀制作近拟圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术　　 占长青 仪表技术与传感器 1998 4
175  BF^＋2注入单晶硅和多晶硅栅快速热退火氟迁移特性的SIMS分析　　 张廷庆 赵元富 半导体学报 1998 2
176  载荷对单晶硅开裂影响的电镜观察　　 蔡传荣 张琼 电子显微学报 1998 5
177  压痕诱发单晶硅非晶化相变的透射电镜观察　　 吴亚桥 徐永波 电子显微学报 1998 5
178  单晶硅片的低温抛光技术　　 韩荣久 张云 光学精密工程 1998 5
179  单晶硅炉用碳石墨材料的研制与应用　　 鄢鹏 电碳 1998 2
180  一种基于表面微机械加工技术的单晶硅微谐振器　　 陈伟平 于杰 哈尔滨工业大学学报 1998 3
181  非单晶硅基薄膜光致发光特性的研究　　 林璇英 林揆训 汕头大学学报：自然科学版 1997 1
183  单晶硅空间光调制器　　 高教波 叶克飞 应用光学 1997 3
184  单晶硅和纳米晶硅空带的NEXAFS理论研究　　 唐景昌 胡晓风 真空科学与技术 1997 1
185  单晶硅上电沉积Ni—W—P合金薄膜　　 李爱昌 张国庆 化工冶金 1997 4
186  单晶硅上电沉积Ni—P非晶薄膜及其表征　　 张国庆 龚正烈 化工冶金 1997 2
188  等离子体发射光谱法测定单晶硅中微量锗　　 薛进敏 光谱实验室 1997 1
189  节能灯电子镇流器件用单晶硅片　　 吴光豪 今日科技 1997 4
190  激光超声技术在单晶硅弹性模量测定中的应用　　 钱梦Lu 声学技术 1996 1
191  高效单晶硅太阳电池的研制　　 赵玉文 李仲明 太阳能学报 1996 2
192  单晶硅表面键合复合份菁及其伏—安特性　　 马国营 曹子祥 西北大学学报：自然科学版 1996 6
193  单晶硅表面键合菁染料的表面增强拉曼散射　　 辜继先 王兰英 西北大学学报：自然科学版 1996 2
194  薄膜SIMOX顶层单晶硅位错的研究　　 竺士炀 林成鲁 功能材料与器件学报 1996 2
195  对单晶硅里双碳中心经退火后的光谱研究　　 郭达勤 亓文杰 物理学报 1996 6
196  （单晶硅／电解液）界面对多孔硅形成初期阶段的影响　　 李清山 李鹏 物理学报 1996 2
197  用SACP技术研究ELID磨削后的单晶硅片表面变质层　　 刘世民 于栋利 电子显微学报 1996 6
198  单晶硅硬度压痕裂纹的特征　　 蔡传荣 张琼 电子显微学报 1996 6
199  中子掺杂直拉单晶硅的正电子淹没特征　　 左开芬 张纯 稀有金属 1996 5
200  光敏染料的键合及其对单晶硅的光敏化作用　　 王兰英 郝纪祥 功能材料 1996 5
201  薄膜单晶硅有源矩阵液晶显示器　　 郑小鹿 现代显示 1995 1
203  多能MeV硼离子注入单晶硅形成特殊形状载流子分布　　 康一秀 赵渭江 半导体学报 1995 10
204  不同单晶硅衬底的多孔硅的拉曼和致发光谱研究　　 贾霖 李经建... 半导体学报 1995 4
205  单晶硅厂洁净厂房设计及效果　　 沈厚正 有色冶炼 1995 3
206  全集成单晶硅有源矩阵液晶光阀方案探讨　　 张盛东 光电子技术 1995 3
207  MIS型单晶硅液晶光阀　　 高教波 张盛 光电子技术 1995 1
208  用同步辐射XRF和基本参数法分析单晶硅中的Ge含量　　 吴强 刘亚雯 核技术 1995 4
209  扫描电子束在绝缘衬底上生产单晶硅薄膜（SOI）的实验研究　　 林世昌 张国炳 电子科学学刊 1995 3
210  用XRF微探针研究掺杂元素锗在单晶硅中的分布　　 吴强 袁汉章 光谱学与光谱分析 1995 2
212  单晶硅太阳能电池在节能灯具中的应用　　 施浩南 电子元件质量 1994 2
213  非晶与单晶硅电解掺氢的研究　　 何晓英 潘炜 四川师范学院学报：自然科学版 1994 2
214  吡啶菁衍生物键合于单晶硅表面的研究　　 王兰英 郝纪祥 西北大学学报：自然科学版 1994 6
217  高效单晶硅太阳能电池工艺技术之研究　　 许开方 新能源 1994 4
218  工业化生产的单晶硅太阳能电池转换效率达14%的可行性研究　　 朱彦 新能源 1994 4
219  单晶硅[112]晶间的弹性模量的激光测量　　 石环英 长沙铁道学院学报 1994 4
220  用同上步辐射X射线荧光微区分析技术测定单晶硅中的掺杂元素As　　 吴强 袁汉章 核技术 1994 8
221  大剂量P^＋离子注入单晶硅的研究　　 高剑侠 朱德彰 核技术 1994 2
222  中子辐照注量对单晶硅中缺陷退火行为的影响　　 孟祥提 核技术 1994 2
223  1.56MeV Sb^＋注入单晶硅的反常退火行为　　 高剑侠 朱德彰 核技术 1994 1
224  单晶硅材料补偿度的确定　　 程元生 半导体杂志 1994 4
225  提高单晶硅太阳电池光电转换效率工艺途径的研究　　 张正品 云南能源 1994 4
226  区熔单晶硅生产操作指导专家系统　　 郑德玲 李燕杰 控制与决策 1994 1
227  菁染料共价键合在单晶硅表面的X—光电子能谱　　 郝纪祥 王兰英 光谱学与光谱分析 1994 6
228  中子辐照的单晶硅参数研究　　 朱文章 吴孙桃 固体电子学研究与进展 1994 2
229  原子力显微镜研究APS化单晶硅衬底及单层MD膜表面　　 张希 高芒来 高等学校化学学报 1994 11
230  单晶硅表面键合两种甲川菁及其光谱响应的研究　　 王兰英 曹子祥 高等学校化学学报 1994 1
231  转换效率达20．4％的单晶硅太阳能电池　　 无 红外技术 1993 2
232  P型单晶硅电解掺氢的研究　　 何晓英 潘炜 四川师范学院学报：自然科学版 1993 2
233  浅议我国的单晶硅工业　　 无 世界有色金属 1993 6
234  一种碳菁染料化学键合于单晶硅表面及光谱响应的测定　　 郭志新 曹子祥 西北大学学报：自然科学版 1993 4
236  单晶硅太阳电池的新进展　　 钱勇之 稀有金属 1993 1
237  光伏法研究高能电子辐照单晶硅的性能　　 朱文章 半导体光电 1993 4
238  单晶硅微电机　　 刘利 电子工艺简讯 1993 6
239  激光诱导单晶硅的液相腐蚀　　 宋登元 郝晓丽 河北大学学报：自然科学版 1993 3
241  单晶硅中子辐照技术　　 陈会强 夏秋丽... 中国原子能科学研究院 报 1993 1
242  单晶硅透射式AMLCD　　 无 发光快报 1992 5
243  多孔硅——一种能发光的单晶硅　　 麦振洪 现代物理知识 1992 4
244  单晶硅化物及其应用　　 武国英 李志宏 微细加工技术 1992 3
245  半导体单晶硅的离子束蚀刻实验研究　　 张建民 陕西师大学报：自然科学版 1992 4
246  掺金单晶硅特性的研究　　 陈敏锐 物理学报 1992 3
248  单晶硅微型马达的试制　　 铃木一健 高晓萍 光机情报 1992 2
249  在单晶硅上制取亚硝酸盐层　　 库.,НМ 樊香国 苏联科学与技术 1992 4
250  双面抛光单晶硅片少子扩散长度的测量　　 杨恒青 张焕林 固体电子学研究与进展 1992 1
251  用测量单晶硅正电子寿命谱来确定最佳的FWHM的方法　　 王丽君 征洋 实验室研究与探索 1991 4
252  扩散型单晶硅及其应用　　 王瑞坠 电信技术 1991 9
253  用分子束外延在多孔硅衬底上外延单晶硅来实现SOI结构　　 周国良 黄宜平 半导体学报 1991 5
255  正,负压单晶硅制备的氩气回收站　　 张忆延 低温与特气 1991 1
256  直拉法生长单晶硅熔体流动实验模拟（下）　　 程秋平 佘思明 稀有金属 1991 6
257  直拉法生长单晶硅熔体流动实验模拟（上）　　 程秋平 佘思明 稀有金属 1991 5
258  Ф76.2mm区熔〈100〉单晶硅的研制　　 辛荣生 章云杰 稀有金属 1991 4
259  Eu^＋注入单晶硅经快速热退火后的喇曼光谱研究　　 刘峰奇 石万金 河南师范大学学报：自然科学版 1991 4
260  用化学方法从失效硅钼元件中分离钼圆片和单晶硅　　 邹德昌 稀有金属与硬质合金 1991 4
261  单晶硅氮化动力学　　 李立本 孙贵如 浙江大学学报：自然科学版 1991 5
263  单晶硅衬底上金刚石成核密度的研究　　 金曾孙 于三 吉林大学自然科学学报 1990 3
264  单晶硅太阳电池的现状和展望　　 钱勇之 世界有色金属 1990 24
265  Er^＋注入单晶硅中非晶层晶化过程的TEM研究　　 严勇 王培磊 半导体学报 1990 7
266  含氢单晶硅的ESR面效应　　 苏fang 中国科学技术大学学报 1990 2
267  计算机全数字控制直拉单晶硅系统　　 张平 徐昌型 稀有金属 1990 4
268  中子嬗变掺杂单晶硅的退火行为研究　　 张维连 稀有金属 1990 3
269  非单晶硅太阳电池研究趋向　　 С.,МС 李孟铭 新能源 1990 7
270  生产高碳单晶硅的新工艺及设备　　 安加林 世界发明 1990 8
271  重掺锑单晶硅及其掺杂和生长方法　　 梁李成 蒋荣华 半导体光电 1990 1
272  在单晶硅中批量加工横向移动结构　　 Lindb.,U 孙国良 电子器件 1990 2
273  具有500倍保护的单晶硅压力传感器　　 Chris.,L 吴原 电子器件 1990 2
274  单晶硅中磷离子注入缺陷的HREM研究　　 严勇 孙慧龄 半导体学报 1989 4
275  干氧氧化单晶硅氧化膜形态研究　　 孙贵如 李文超 稀有金属 1989 1
276  N型单晶硅的阳极氧化（一）　　 杨军 陈江平 上海科技大学学报 1989 1
277  单晶硅的电化学钝化　　 杨军 邓薰南 材料科学进展 1989 6
278  SiO2衬底上外延横向覆盖生长单晶硅薄膜的研究　　 张旭光 朱忠伶 电子学报 1989 5
提示：实际收录255篇文献。